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微型压力传感器制造工艺和误差介绍

来源:巨科仪表 发布时间:2020-09-01 次浏览

微型压力传感器的制造工艺有哪几种分类?

1、陶瓷型:

这种制造工艺是传统材料的应用,所用陶瓷材料是精细陶瓷,也被称为高科技陶瓷。主要是依靠标准的陶瓷工艺或变种的溶胶工艺,完成适当的预备性操作之后,将成形的元件在高温中进行烧结。

2、厚膜型:

厚膜型和薄膜型是相对应,是在基片上形成膜来进行制造,两者的区别是厚膜型传感器是在陶瓷制造的基片上用敏感材料的浆料进行涂覆,而厚膜型的制造材料多是氧化铝,涂层形成后进行热处理,这样厚膜即可成型。

3、集成型:

这种生产工艺和生产标准硅基半导体集成电路工艺是基本相同的。传感器通过集成方式进行制造后,可以获得更小的体积并集成更多的功能,部分集成传感器可以拥有一部分处理功能,来处理被测量信号。

4、薄膜型:

薄膜型制造涉及到纳米等先进技术,齐制作方法是在介质衬底也就是基板上用敏感材料形成一层薄膜,在制作时也可以复合一些电路系统,这需要使用到混合工艺。

大家都知道,微型压力传感器如果在出厂时没有按实际量程标定的话会存在一些初始误差,因为产品没标定,只能通过偏移值和典型的灵敏度将输出电压转换成压力,但这样一来,所测得的压力是不精确的,存在很大的误差,主要包括滞后、线性、偏移量和灵敏度这四个方面的误差。

灵敏度误差:

传感器产生的灵敏度误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增

函数。如果压力传感器灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于

扩散过程的变化。

滞后误差:

这种误差出现的概率很大,很多时候是完全可以忽略不计,因为压力传感器硅片具有很高的机械刚度,一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。

电子科技有限公司是一家集研发、生产及销售的高精度传感器、仪器仪表、食品机械的高科技型企业,公司同时致力于工业自动化产品的研发与销售。主营高精度压力传感器,高频动态压力传感器,微型压力传感器,汽车压力传感器等高可靠型产品。